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“黑科技”加持!安捷伦推出全新一代高真空涡轮分子泵 TwisTorr 704FS

放大字体  缩小字体 发布日期:2018-01-12   来源:仪器信息网   浏览次数:1005
核心提示:  近日,安捷伦发布了全新一代高真空涡轮分子泵 TwisTorr 704FS。作为一款加持了诸多黑科技的全新产品,TwisTorr 704 FS 高真

  近日,安捷伦发布了全新一代高真空涡轮分子泵 TwisTorr 704FS。作为一款加持了诸多“黑科技”的全新产品,TwisTorr 704 FS 高真空涡轮分子泵在具有高性能、高可靠性的同时,还能做到更经济。

  首先,高真空涡轮分子泵是什么?

  涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空泵,典型的工作压力是 0.0001Pa、0.00001Pa,但在极限状态下,可以通过它实现 0.00000001Pa(大气压的十万亿分之一)的超高真空。涡轮分子泵可以用于各类质谱仪(比如 GC/MS、LC/MS、ICP/MS、TOF)、镀膜机、电子显微镜(SEM、TEM)、聚焦离子束系统(FIB)、表面分析仪器,高能物理实验装置、粒子加速器、高真空实验装置等诸多应用。

  高真空涡轮分子泵内有一个高速旋转(每分钟几万转)的转子,转子上有涡轮和拖动级进行抽气。随着技术的不断进步,市场不仅对泵性能的要求越来越高,更对其小型化、高可靠性、维护方便性及灵活易用性等都提出了更高的要求。下面就来看看,为了满足这些要求,安捷伦最新的高真空涡轮分子泵都“加持”了哪些“黑科技”吧。

  “黑科技” No.1 TwisTorr 拖动技术

  通常的分子泵拖动级采用圆柱螺旋形的沟槽,而安捷伦 TwisTorr 技术把拖动级放在了薄薄的圆盘上,这样就可以在有限的空间内集成多对拖动级转子盘和定子盘,节省空间的同时又能提高效率和性能。

  采用该技术的分子泵尺寸会更紧凑,并且有更高的压缩比和前级耐压。更高的压缩比(特别是对小分子气体的高压缩比)可以带来更好的极限真空,而更高的前级耐压允许使用更小的前级泵,从而降低了整个真空系统的成本和尺寸。

  “黑科技” No.2 AFS 安捷伦悬浮轴承技术

  一般的涡轮分子泵的设计,泵的轴承是通过过盈配合与转子及泵体轴承座紧密连接的,一旦泵体有振动或冲击,这些振动就会传递到轴承,并且通过轴承传递到转子。由于涡轮分子泵的轴承和转子都在高速转动,对振动特别敏感,传递到轴承的振动会影响轴承的寿命,传递到转子的振动会造成转子发生位移,甚至会与泵体或定子接触。而一旦高速转动的转子与其它静止的部分接触,巨大的冲击力会立即造成转子叶片的破碎,整泵也随之报废。

  安捷伦 AFS 悬浮轴承系统,采用特殊的弹性材料隔离转子与泵体,避免转子和轴承受到从泵体传来的冲击;并且由于弹性材料的阻尼效应,可以吸收各种振动的能量,降低整泵的噪音和振动,保证最佳的轴承工作条件,从而能延长工作寿命,最大程度减少系统停机时间,确保长时间工作的稳定性。

  “黑科技” No.3 特殊润滑剂永久润滑轴承

  使用涡轮分子泵的高真空环境对润滑油或润滑脂非常敏感,因为在高真空环境下,润滑油或润滑脂非常容易汽化。一方面,这些油脂类的蒸气会形成一种气源,影响系统的真空度和纯净度;另一方面,这些蒸气进入到真空腔体后,会冷凝附着在其它零件上,影响高真空系统内相关设备的工作。

  TwisTorr 704 FS 采用安捷伦与轴承厂家合作研发的特制轴承,能够任意方向安装;并且,由于其使用的特殊润滑剂饱和蒸汽压极低,正常使用时几乎没有损耗,使得该泵在整个寿命周期内都无需进行加注润滑脂、更换油棉等维护。

  “黑科技” No.4 分子泵控制器 “3D” 控制软件

  早期的分子泵控制器又叫分子泵电源,其最重要的功能是向分子泵供电;后来,改进型的控制器具备了一定的保护功能,可以监控分子泵的功率和温度,相当于为分子泵的工作状态设置了一条红线,分子泵只能在这条线以下工作(2D),若超过这条线控制器就会报警停机。

  与 704FS 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器,变被动保护为主动调整,可以根据不同的工艺条件,自动调整输出功率和转速,使泵在保证自身安全的同时,始终工作在一个达到最优性能的曲面上(3D),达到最佳的气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行,可以延长其使用寿命。

  与 704FS 同时发布的还有 804FS 和 404FS,加上之前的 84FS 和 304FS,形成了一个完整的系列。

 
 
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